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制御温度精度±0.1℃以内の精密温調や-60℃以下の低温を得る超低温冷凍技術を主軸とした、冷凍・冷蔵・空調装置の設計製作を行っています。

半導体関連産業用精密温度制御装置に携わって30有余年、培ってきた技術により冷凍機単体による空気温度制御にて±0.1度以内の精密温度制御を実現しています。
また、従来2元冷凍装置や2段圧縮機を使い達成していた-60℃以下といった超低温域を、混合冷媒を使い単元単段冷凍機で実現。装置の簡素化・設計の自由度を高めました。
3D－CADを使った設計、自社保有板金設備による試作設計の利便性の良さ・自由度の高さにより、ご期待に応えます。

弊社の製品は以下の産業機器に採用されています。

・半導体製造設備における空気温度湿度制御装置
・液晶パネル製造設備における液体温度制御装置
・半導体検査装置における温度制御装置
・恒温恒湿装置
・温度検査装置
・超低温冷却装置
・その他特殊空調装置等

また環境への取り組みとしての冷媒フロン回収においては、高圧冷媒回収機を導入しR-23やR-13といった高圧冷媒の回収が可能です。